半導体製品の使用材料は多様化しており、プロセスの複雑化により薄膜の分析技術が必要不可欠です。

SEM像や、TEM像のコントラストから、組成を推定することも可能ですが、TEM-EDXを用いることで外乱を最小限に抑え、所定の薄膜の分析が可能です。

組成分析

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