基板の平面から、より詳細な測定を行うことで、解析対象のデザインルールを明らかにします。

 

以下は、パターン測長の例です。

パターン測長

解析サービス

配線幅および配線間隔

<平面測定結果>

 最小配線幅:75um

 最小配線間隔:84um

 最小TH内径:φ0.185mm

TH径