構造解析

• 断面解析（モジュール）

スマートフォンでは表示パネルの上方にタッチパネルやカバーガラス等が積層されております。それらの積層構造を断面観察可能です。観察は光学顕微鏡、SEMで行い、EDX分析も対応可能となります

カバーガラス〜液晶パネル断面

• パネル断面解析（SEM、TEM、EDX）

TFTやコンタクトホール等の構造や各層の厚さについてTEMやSEMを用いて分析いたします。TEM、 SEMに加えEDX分析も実施可能です。

EDX スペクトル