半導体

3軸加速度センサ：ADI製ADXL367_ADXL362 構造比較解析レポート

ADXL367(新製品)

ADXL362(従来品)

概要

・2022年5月にADIより3軸MEMS加速度センサADXL367が発売された。　

・旧製品（ADXL362）と比較して、小型化、低消費電力、分解能、ノイズ特性が改善されており、　搭載チップサイズ、ASICのプロセス、搭載機能ブロックなどを構造を中心に、従来品であるADXL362と比較したレポートとなります。

①ADXL367(2022年発売)　PKG：2.2mm×2.3mm×0.87mm　12pin LGA

②ADXL362(2012年発売)　PKG：3.2mm×3.0mm×1.06mm　16pin LGA

・PKGサイズが従来品の約2/5のサイズ（体積）に小型化、消費電力は2分の1、ノイズ特性は30%の改善、分解能は1/4に向上している。

　・ADXL367、ADXL362の構造比較まとめ

　・PKG外観/X線観察

　・ASIC/MEMSのサイズ比較

　・ASIC簡易面積測定(Logic, Analog, I/O)

　・ASICのプロセスルール推定

　　価格：280,000円（税別)　　　　発注後1weekで納品

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